國立虎尾科技大學
原子力顯微鏡主動式探針力量控制方法探討
基本資料
計畫主辦機關資訊
| 姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
| 沈金鐘 |
國立虎尾科技大學 |
自動化工程系 |
教授 |
其他 |
報告內容摘要
德國伊爾梅瑙(Ilmenau)工業大學製程量測及感測技術研究所在奈米級量測領域上享有盛名。本次受邀前往進行學術研究參訪主要在了解其開發之奈米量測平台之控制器架構，及協助他們改進其原子力顯微鏡主動式探針力量控制系統之性能。參訪後以了解其控制系統架構及採用的硬體，亦改善其原子力顯微鏡主動式探針力量控制之性能。此部分之成果將發表於2011於義大利米蘭舉辦之 IFAC World Congress研討會上，同時、利用新控制器之原子力顯微鏡之性能探討結果將發表(Revise中)在SCI期刊Measurement Science and Technology上。
其他資料
| 前往地區： |
德國; |
| 參訪機關： |
伊爾梅瑙(Ilmenau)工業大學製程量測及感測技術研究所(Institute of Process Measurement and Sensor Technology) |
| 出國類別： |
其他 |
| 關鍵詞： |
原子力顯微鏡,力量控制 |
| 備註： |
|
分類瀏覽
| 主題分類： |
科學技術 |
| 施政分類： |
補助專題研究計畫 |
C10001453_33840.doc
C10001453_54300.pdf