赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術
基本資料
| 系統識別號： | C09305552 |
|---|---|
| 相關專案： | 無 |
| 計畫名稱： | 赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
| 報告名稱： | 赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
| 電子全文檔： |
C09305552_11226.pdf
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| 附件檔： | |
| 報告日期： | 93/06/18 |
| 報告書頁數： | 138 |
計畫主辦機關資訊
| 計畫主辦機關： | 國防部中山科學研究院 http://www.mnd.gov.tw/ |
|---|---|
| 出國期間： | 93/04/19 至 93/04/26 |
| 姓名 | 服務機關 | 服務單位 | 職稱 | 官職等 |
|---|---|---|---|---|
| 游欽宏 | 國防部中山科學研究院 | 第二研究所 | 聘用技正 | 其他 |
| 黃石柱 | 國防部中山科學研究院 | 第二研究所 | 聘用技正 | 其他 |
報告內容摘要
本報告重點為參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術，透過參訪及研討了解半導體製程技術之關鍵技術，對於本院之軍通產業規劃極有助益。
其他資料
| 前往地區： | 德國; |
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| 參訪機關： | |
| 出國類別： | 考察 |
| 關鍵詞： | 電漿輔助化學氣相沉績、水導引雷射、多重雷射光束吸收 |
| 備註： |
分類瀏覽
| 主題分類： | 公共工程 |
|---|---|
| 施政分類： | 工程管理 |