赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術
基本資料
系統識別號: | C09305552 |
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相關專案: | 無 |
計畫名稱: | 赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
報告名稱: | 赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
電子全文檔: |
C09305552_11226.pdf
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附件檔: | |
報告日期: | 93/06/18 |
報告書頁數: | 138 |
計畫主辦機關資訊
計畫主辦機關: | 國防部中山科學研究院 http://www.mnd.gov.tw/ |
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出國期間: | 93/04/19 至 93/04/26 |
姓名 | 服務機關 | 服務單位 | 職稱 | 官職等 |
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游欽宏 | 國防部中山科學研究院 | 第二研究所 | 聘用技正 | 其他 |
黃石柱 | 國防部中山科學研究院 | 第二研究所 | 聘用技正 | 其他 |
報告內容摘要
本報告重點為參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術,透過參訪及研討了解半導體製程技術之關鍵技術,對於本院之軍通產業規劃極有助益。
其他資料
前往地區: | 德國; |
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參訪機關: | |
出國類別: | 考察 |
關鍵詞: | 電漿輔助化學氣相沉績、水導引雷射、多重雷射光束吸收 |
備註: |
分類瀏覽
主題分類: | 公共工程 |
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施政分類: | 工程管理 |