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國防部中山科學研究院
赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術
基本資料
系統識別號: |
C09305552 |
相關專案: |
無 |
計畫名稱: |
赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術# |
報告名稱: |
赴歐洲參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術 |
電子全文檔: |
C09305552_11226.pdf
|
附件檔: |
|
報告日期: |
93/06/18 |
報告書頁數: |
138 |
計畫主辦機關資訊
姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
游欽宏 |
國防部中山科學研究院 |
第二研究所 |
聘用技正 |
其他 |
黃石柱 |
國防部中山科學研究院 |
第二研究所 |
聘用技正 |
其他 |
報告內容摘要
本報告重點為參訪國際半導體設備、工廠自動化展及雷射應用技術,透過參訪及研討了解半導體製程技術之關鍵技術,對於本院之軍通產業規劃極有助益。
其他資料
前往地區: |
德國; |
參訪機關: |
|
出國類別: |
考察 |
關鍵詞: |
電漿輔助化學氣相沉績、水導引雷射、多重雷射光束吸收 |
備註: |
|
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