基本資料
系統識別號: |
C10200601 |
相關專案: |
無 |
計畫名稱: |
晶圓級全像蝕刻研究計畫# |
報告名稱: |
晶圓級全像蝕刻研究計畫 |
電子全文檔: |
C10200601_41465.pdf
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附件檔: |
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報告日期: |
102/02/27 |
報告書頁數: |
6 |
計畫主辦機關資訊
姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
謝美莉 |
國立交通大學 |
光電工程學系 |
副教授 |
其他 |
報告內容摘要
本實驗室與美國壬色列理工學院林尚佑教授自2008年迄今一直有國際合作研究議題持續進行中。此次赴美進行的研究工作將著重在晶圓級全像蝕刻研究方向,預計進行大尺寸實驗系統架設與測試,評估大尺寸系統特性與穩定度等相關參數,作為日後發展晶圓級全像蝕刻技術與應用之基礎。此外,也將進行光子晶體元件的光學量測與理論分析之研究,作為未來利用全像蝕刻系統所製作之光電元件實驗量測與理論分析之重要基礎。
此次預定之研究工作均按預定目標完成,已投稿一篇國際期刊論文(Optics Letters)與兩篇國際會議論文(SPIE光電年會),並完成全像蝕刻光學系統參數測試,供後續在交大實驗室進行光學實驗系統架設之重要參考依據。
其他資料
前往地區: |
美國; |
參訪機關: |
美國TROY壬色列理工學院 |
出國類別: |
研究 |
關鍵詞: |
晶圓,全像,蝕刻,光子晶體,光電 |
備註: |
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