本次所添購的設備為德國AIXTRON公司的Tricent 金屬有機化學氣相沉積系統，為了能更清楚的了解該機台軟體及硬體的結構、操作及培訓基本的保養及維修能力，並充分的利用原廠的訓練資源，故指派一名NDL助理研究員前往原廠受訓，並進行Source Inspection。AIXTRON於德國亞琛(Acchen)有一專門的教育訓練中心，內有專業的講師、分門別類的訓練課程及多台不同型號的實機可供上機練習，本次的課程為Tricent機型的訓練課程，為期七個工作天，內容主要包括前兩天的機台第一段驗機、後五天的機台各硬體單元結構的介紹、軟體的結構與操作、基本維修及保養、實際操作、Troubleshooting等項目。本報告將就Source Inspection的項目及訓練的內容做一概略地敘述，以供參考。