南部科學工業園區管理局
三氯矽甲烷國外工廠工安環保設施參訪與緊急應變作業訓練
基本資料
系統識別號: |
C09703110 |
相關專案: |
無 |
計畫名稱: |
三氯矽甲烷國外工廠工安環保設施參訪與緊急應變作業訓練計畫# |
報告名稱: |
三氯矽甲烷國外工廠工安環保設施參訪與緊急應變作業訓練 |
電子全文檔: |
C09703110_23251.doc
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附件檔: |
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報告日期: |
97/10/16 |
報告書頁數: |
23 |
計畫主辦機關資訊
姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
官嘉明 |
南部科學工業園區管理局 |
環安組 |
科長 |
薦任 |
報告內容摘要
三氯矽甲烷(TCS)是半導體產業與太陽能光電業的重要原料之一,而三氯矽甲烷與其他氯化矽烷如烷基氯化矽等皆具具毒性、禁水性與腐蝕性,三氯矽甲烷目前在國內的使用量並不大,主要是做為各半導體廠的矽來源之一,目前尚未有通報的事故。在國外,三氯矽甲烷是多晶矽與矽甲烷的最重要原料,其他氯化矽烷如烷基氯化矽烷則多做為矽酮(silicone)的原料。三氯矽甲烷其可燃性、禁水性、毒性與腐蝕性使得其外洩的影響範圍與應變的困難度大幅提高,換言之,三氯矽甲烷大量外洩的毒性影響範圍可能超越廠區並波及廠外周界社區與他廠,而三氯矽甲烷之危害特性與潛在風險,目前國內並無相關研究或資訊可供參考,三氯矽甲烷的危害特性與園區內日益增多的半導體產業與太陽能光電業,為預防潛在的災害風險與提供園區內正確及充足的災害應變能力,擬針對三氯矽甲烷的外洩危害與應變處理程序,辦理國外三氯矽甲烷運作工廠實際現勘及訪談。
其他資料
前往地區: |
美國; |
參訪機關: |
REC SILICON公司BUTTE PLANT,DOW CORNING公司MIDLAND PLANT |
出國類別: |
其他 |
關鍵詞: |
三氯矽甲烷,氯化矽烷 |
備註: |
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