本次參加94年度台德技術合作計畫，赴德國研習「微機電系統之技術與應用」為期28天。除研習相關知識及技術外，並參訪2所大學及1個極富盛名的研究機構。研習期間自94年4月19日至94年5月16日止。微機電是指在微米尺寸，亦即十的負六次方尺度下之製程技術所製造出的迷你機電元件。微機電系統(Micro-Electromechanical System, 簡稱MEMS)係利用「黃光微影技術」、「掺雜技術」、「蝕刻技術」、「薄膜成長技術」等半導體之製程技術，製作微小之機械元件、光學元件及電子元件，並將機械元件、光學元件及電子元件整合成單一系統且製作於矽晶片上，在歐洲則稱為微系統（Micro-System）。微機電系統是一個跨領域之科學，結合了化學、機械、光學、生物、電子等各領域之專業知識及技術，才能整合機械、電子、材料、化學、光學等工程於一微小元件，使其具有一特殊功能之系統元件。參訪的單位包括：1. Univertity of Kassel Institute of Microstructure Technologies and Analytics, Technological Electronics, Institute of Physics/CINSaT2. Karlsruhe Research CenterInstitute of Microstructure Technology(IMT), Institute of Applied Computer Science, Institute of Material research III(IMF III), Institute of Microsystem Technology3. Univertity of FreiburgInstitute of Microstructure Technology(IMTEK)