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經濟部

微機電系統之技術與應用

基本資料

系統識別號: C09402488
相關專案:
計畫名稱: 微機電系統之技術與應用#
報告名稱: 微機電系統之技術與應用
電子全文檔: C09402488_13074.doc
附件檔:
報告日期: 94/06/30
報告書頁數: 12

計畫主辦機關資訊

計畫主辦機關: 經濟部 http://www.moea.gov.tw/Mns/populace/home/Home.aspx
出國期間: 94/04/19 至 94/05/16
姓名 服務機關 服務單位 職稱 官職等
劉進德 經濟部 技正 薦任

報告內容摘要

本次參加94年度台德技術合作計畫,赴德國研習「微機電系統之技術與應用」為期28天。除研習相關知識及技術外,並參訪2所大學及1個極富盛名的研究機構。研習期間自94年4月19日至94年5月16日止。微機電是指在微米尺寸,亦即十的負六次方尺度下之製程技術所製造出的迷你機電元件。微機電系統(Micro-Electromechanical System, 簡稱MEMS)係利用「黃光微影技術」、「掺雜技術」、「蝕刻技術」、「薄膜成長技術」等半導體之製程技術,製作微小之機械元件、光學元件及電子元件,並將機械元件、光學元件及電子元件整合成單一系統且製作於矽晶片上,在歐洲則稱為微系統(Micro-System)。微機電系統是一個跨領域之科學,結合了化學、機械、光學、生物、電子等各領域之專業知識及技術,才能整合機械、電子、材料、化學、光學等工程於一微小元件,使其具有一特殊功能之系統元件。參訪的單位包括:1. Univertity of Kassel Institute of Microstructure Technologies and Analytics, Technological Electronics, Institute of Physics/CINSaT2. Karlsruhe Research CenterInstitute of Microstructure Technology(IMT), Institute of Applied Computer Science, Institute of Material research III(IMF III), Institute of Microsystem Technology3. Univertity of FreiburgInstitute of Microstructure Technology(IMTEK)

其他資料

前往地區: 德國;
參訪機關:
出國類別: 實習
關鍵詞: 微機電系統
備註:

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主題分類: 標準檢驗
施政分類: 標準檢驗
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