因應執行經濟部九十二年度「新興產業精密機械系統關鍵技術研究發展」專案計畫之半導體設備晶圓輸送系統研發工作，赴日本參加2003年SEMICON Japan展覽會，瞭解目前半導體產業設備發展技術現況與未來趨勢，並與廠商作深入研討，以蒐集輸送設備相關技術資料、掌握市場現況及發展，並作為技術合作或引進之考量依據；另外並參訪Precision公司，探討磊晶先進製程控制技術(Advanced Process Control; APC)和磊晶廠設備及其自動化概況及參訪JEL公司進行真空環境大型基材輸送機械手臂設計技術發展趨勢研討，以掌握半導體設備晶圓輸送系統及關鍵模組之市場及技術發展趨勢，有助於計畫執行及後續發展，並建立未來國際合作的管道。