因應執行經濟部「機械業關鍵系統」科專案之半導體前段設備研發計畫之需，赴加拿大布魯克斯公司研討先進製程設備控制器之設計開發技術及物件導向即時控制器軟體發展技術研討，以掌握半導體設備晶圓輸送系統及關鍵模組之市場及技術發展趨勢，有助於計畫執行及後續發展，並建立未來國際合作的管道。赴日本參訪大漢公司及樂華公司兩家平面顯示器自動化傳輸設備製造商，研討大型基材大氣及真空輸送設備的發展趨勢，以蒐集大型基材輸送設備相關技術資料、掌握市場現況及發展並作為技術發展之考量依據。此次加拿大參訪過程中，與該公司幾位主要的工程人員對該公司目前先進製程設備控制器之開發現況與未來發展方向及開發上之考量問題等均作了深入之解說及建議；另並對本計畫目前執行開發之系統作實機測試與最佳化設計建議，可以說是毫無保留的說明與討論，另外亦對該公司控制器技術現況與發展趨勢提出討論。本次的參訪研討，對本計畫集束型設備控制器之開發方向有極大之助益。平面顯示器已成為我國科技發展的重要項目之一，其在基材尺寸上之要求較現有設備增加甚多，因應平面顯示器基板輸送設備研發之要求，須對其全球市場與技術發展趨勢進一步掌握，本次赴日本兩家大型基材傳輸設備廠商進行參訪與研討，對該產業有更深一層之認識與瞭解。 此次公差所獲得資訊及整理的資料，配合現有技術能量，對執行中及未來的半導體製程設備及相關系統研發工作及方向甚有助益。