半導體產業發展迅速且半導體製程不斷的演進，隨著半導體製程的演進及產量的增加，使用化學品的種類及數量也不斷增加，半導體製程使用之化學品中，有許多化學品屬於危險性、有害性化學物質，加以半導體製程環境為一密閉潔淨室，由於密閉空間及化學物質之危害特性，一旦發生意外事故，將導致廠內作業人員傷亡、製程設備的損害，造成停工的重大損失，化學品洩漏至廠外會造成環境污染，進而危害到工廠附近週遭的居民安全與健康。本次藉由參加第九屆國際半導體產業環安衛研討會活動，了解國際半導體產業在工業安全衛生的發展與趨勢。研討會的行程分法令制定、尾氣處理、PFC減量、廢棄物管理、化學品管理、安全衛生管理、風險管理、環境管理等主題進行研討，由於國際上對溫室效應的重視及世界半導體產業協會（WSC）各會員對環境保護的決心，投入了大量的人力及物力等資源，從事PFC減量措施之研究，故本次研討會以PFC相關論文為大宗，在化學品安全管理措施方面，研討會中發表的論文可概分為前端替代化學品的使用、氣體供應系統改良、製程設備改進及製程後端處理技術的發展。