中科院接受經濟部委託，執行「機械業關鍵系統技術研發計畫」科專案，其中分項計畫「快速熱處理機台開發」已進入90年下半年，其目標須完成快速熱處理機台初步組測與配合全計畫控制系統之機台精進設計之關鍵時期。為了精進機台設計，除了過去已邀集國內學、業界合作關鍵技術開發之外，未來更須藉由先進國家之科技技術協助，方能使機台相關技術達到世界一流水準。而且相關最新、先進之技術資料之收集也是研發工作中相當重要之一環。本次公差目的即在此理念下參訪由舊金山市舉行的 SEMICON West2001 研討會及展覽會，該會為世界規模最大的半導體技術與設備展覽會，透過本次公差除參加SEMICON WEST2001研討會吸取新知及收集相關機台最新技術資料外，並順道拜訪兩家科技公司洽談最先進非接觸溫度量測技術合作，已獲得具體成果，對本計畫後期之執行的確有相當助益。