國防部中山科學研究院
執行經濟部科專案機械業關鍵系統技術研究發展赴美參訪半導體前段製程設備並進行技術研討
基本資料
系統識別號: |
C08906911 |
相關專案: |
無 |
計畫名稱: |
執行經濟部科專案機械業關鍵系統技術研究發展赴美參訪半導體前段製程設備並進行技術研討# |
報告名稱: |
執行經濟部科專案機械業關鍵系統技術研究發展赴美參訪半導體前段製程設備並進行技術研討 |
電子全文檔: |
C08906911_99.pdf
C08906911_1007.pdf
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附件檔: |
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報告日期: |
90/02/18 |
報告書頁數: |
64 |
計畫主辦機關資訊
姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
蕭俊誠 |
國防部中山科學研究院 |
第二研究所第品保工程組 |
簡聘技正 |
簡任 |
陳瑞宗 |
國防部中山科學研究院 |
第二研究所第二十一廠 |
技術員 |
聘、雇 |
報告內容摘要
此次赴美國CALEB公司、n & k Technology公司及AEROTECH公司參訪,係配合本(二)所經濟部科專案「機械業關鍵系統技術研究發展計畫」計畫之「非連續塗佈」子項計畫,研討相關技術並搜集相關產品資料,重要成果包含下列三項:(一)引進n & k Technology公司發展之膜厚軟體操作特性、大面積之吸盤設計技巧及將膜厚量測系統應用於線上檢驗之概念,對本所科專計畫之研發助益甚大。(二)蒐集AEROTECH公司所發展之線性馬達、空氣軸承、伺服器及控制軟體等相關資料,引進系統整合與模組化概念,有利於降低本所科專計畫研發的時程。(三)本計畫所開發之塗佈技術,亦適用於CALEB公司所研發之鋰電池生產,值得我們加快研發之腳步。整體而言,本次參訪已達成預定之目標,對本所發展薄膜塗佈技術甚具參考價值。
其他資料
前往地區: |
美國; |
參訪機關: |
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出國類別: |
考察 |
關鍵詞: |
薄膜,塗佈機,鋰電池,線性馬達 |
備註: |
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