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基本資料
系統識別號: |
C10004643 |
相關專案: |
無 |
計畫名稱: |
第11屆國際濺鍍與電漿製程研討會# |
報告名稱: |
第11屆國際濺鍍與電漿製程研討會 |
電子全文檔: |
C10004643_36227.pdf
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附件檔: |
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報告日期: |
100/10/17 |
報告書頁數: |
7 |
計畫主辦機關資訊
姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
陳村松 |
國立中興大學 |
材料科學與工程學系 |
博士班研究生 |
其他 |
報告內容摘要
2011年第11屆國際濺鍍與電漿製程研討會(The 11th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP2011),研討會主題目的在於探討「濺鍍技術與電漿反應過程」,範圍包含:Fundamentals of Sputtering and Plasma Processes(濺鍍與電漿製程基礎原理)、Sputtering Processes(濺鍍製程)、Plasma Processes(電漿製程)、Plasma Induced Process Technologies(電漿誘導技術)、Thin Films(薄膜)、Micro and Nano Technologies(微奈米技術)、Applications(應用)、Others(其他)八大類別。大會核心主題尤其著重於「反應式濺鍍」,主要探討提高成長薄膜沉積速率和反應濺射過程中的穩定性。
國際濺鍍與電漿製程研討會(ISSP)始於1991年,此後研討會每兩年舉行一次,且已日漸成為重要的國際薄膜會議,參與此會議的學者、學生除了來自日本以外,大多來自台灣、韓國、美國及歐洲,因此,此國際會議的規模及影響力已不容小覷。
其他資料
前往地區: |
日本; |
參訪機關: |
日本京都市-京都研究園區 |
出國類別: |
其他 |
關鍵詞: |
第11屆國際濺鍍與電漿製程研討會 |
備註: |
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