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行政院原子能委員會核能研究所
赴美國參加SVC 真空鍍膜研討會發表論文
基本資料
系統識別號: |
C09901225 |
相關專案: |
無 |
計畫名稱: |
參加53屆國際真空鍍膜研討會並發表論文及參訪相關電漿鍍膜機構# |
報告名稱: |
赴美國參加SVC 真空鍍膜研討會發表論文 |
電子全文檔: |
C09901225_29527.pdf
|
附件檔: |
|
報告日期: |
99/05/26 |
報告書頁數: |
35 |
計畫主辦機關資訊
姓名 |
服務機關 |
服務單位 |
職稱 |
官職等 |
吳錦裕 |
行政院原子能委員會核能研究所 |
物理組 |
副研究員 |
簡任 |
梁文龍 |
行政院原子能委員會核能研究所 |
物理組 |
副工程師 |
薦任 |
報告內容摘要
本報告內容為赴美國參加第53屆SVC真空鍍膜國際研討會,此研討會所涵蓋的鍍膜領域相當完整,由傳統的磨潤裝飾性的硬膜,延伸至光電半導體相關材料的鍍膜。本所目前所發的高功率脈衝磁控濺鍍技術已相當成熟,但國內投入相關研究的單位仍寥寥可數,此次藉由參與其中高功率脈衝磁控濺鍍領域之海報論文發表,以及相關課程的安排下,來觀察國外在此技術目前研發現況,並與各界先進能有技術交流,以期未來能將高功率脈衝磁控濺鍍技術應用到更多不同的鍍膜領域,並且提供更優良的技轉服務。另外在半導體光電材料鍍膜相關議題與課程的安排中,有相當多的單位投入透明導電膜製程技術的研究,對於本組目前在可撓式薄膜太陽電池的發展,能夠提供一些最新製程技術做為參考。而廠商參展部分也包含了目前電漿電源及太陽電池製程設備的發展,能提供我們國際上相關產業的發展趨勢。
其他資料
前往地區: |
美國; |
參訪機關: |
SVC真空鍍膜研討會訓練課程 |
出國類別: |
其他 |
關鍵詞: |
SVC真空鍍膜研討會,高功率脈衝磁控濺鍍,可撓式鍍膜技術 |
備註: |
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