本研究利用雙離子束濺鍍系統製備鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜，探討離子束轟擊氧化鐵表面對鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜之磁性質影響，在離子束轟擊氧化鐵表面之鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜結構分析(X光繞射儀、電子顯微鏡)結果顯示：鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜均含有面心立方結構隻鎳鐵、剛玉型六方最密堆積結構之氧化鐵，並由電子能譜化學分析儀證實鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜界面無擴散現象。磁性質分析結果顯示：室溫下，鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜無明顯之交換偏壓。鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜由室溫場冷到160K時，經70V轟擊後之樣品磁異向性降低，使矯頑磁力=較未轟擊之樣品小。場冷至10K下，未經離子束轟擊之鎳鐵/氧化鐵雙層膜具有最大之矯頑磁力約204Oe，而經70V轟擊之樣品具有最大之交換偏壓。最後，由磁化量對溫度之相依性結果顯示：經70V轟擊後之鎳鐵/氧化鐵雙層薄膜具有最高之阻隔溫度，而未經離子束轟擊之樣品則具有最高之不可逆溫度。